黄光
光刻工艺中使用的黄色照明光源环境
黄光是半导体光刻工艺中的关键技术环境,因使用对光刻胶不敏感的黄色照明光源而得名。黄光技术的核心是通过特定波长(通常为黄光波段)的光源进行图形转印,因光刻胶对黄光波段敏感度最低,工艺区域采用黄色安全照明避免误曝光。该技术通过在黄光区域内涂覆光刻胶、掩模图形曝光和显影处理,将微米级电路图案转印至基片表面,广泛应用于集成电路平板显示微机电系统制造。
技术原理
黄光技术的核心是通过特定波长(通常为黄光波段)的光源进行图形转印。因光刻胶对黄光波段敏感度最低,工艺区域采用黄色安全照明避免误曝光。利用光刻胶的光化学反应特性,将掩模版图形经投影式光刻机精准投射,形成物理或化学性质差异的显影区域。
主要工艺步骤
关键性能指标
应用场景
技术挑战
最新修订时间:2025-11-28 22:49
目录
概述
技术原理
主要工艺步骤
关键性能指标
应用场景
参考资料