衍射效率是表征光学元件将入射光能量分配到特定衍射方向能力的物理量，其定义为某一衍射方向上的光强与入射光强的比值。该参数受光栅结构、材料特性及入射条件等多因素影响：离子刻蚀技术优化闪耀角设计可提升光栅在闪耀波长处的一级衍射效率，偏心误差超过1.15%会导致多层衍射光学元件的多色光积分平均衍射效率降至95%以下。

衍射效率的量值标准包含两种类型：

在布拉格衍射条件下，该参数被明确定义为最大衍射光强Idmax与0级光强I0的比（=Idmax/I0）。2021年声光调制实验测得该比值可达98.26%。

光栅刻槽形状优化可显著提升衍射效率：

材料特性同样影响显著：

衍射效率呈现多重变化规律：

现代测量系统突破传统局限：

不同场景下的效率表现差异显著：