电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）是20世纪80年代发展的一种无机元素与同位素分析技术，通过将电感耦合等离子体的高温电离特性与质谱计结合实现高灵敏度检测。第一台商品化仪器于1983年问世，其核心由进样系统、离子源、锥组、质量分析器等组成，质量分析器多采用四极杆质谱计，也可使用双聚焦扇形磁场或飞行时间质谱计。

术语简介

学科：岩矿分析与鉴定

词目：电感耦合等离子体质谱

英文：inductively coupled plasma-mass spectrometry(ICP-MS)

释文：ICP-MS仪器所使用的等离子体除了方位和线圈接地方式外，与发射光谱中使用的基本相同。所使用的质量分析器、离子检测器和数据采集系统又与四极杆GC-MS仪器相类似。质量分析器多采用四极杆质谱计，也有采用具有高分辨的双聚焦扇形磁场质谱计、飞行时间质谱计等。该技术的特点：灵敏度高；速度快，可在几分钟内完成几十个元素的定量测定；谱线简单，干扰相对于光谱技术要少；线性范围可达7～9个数量级；样品的制备和引入相对于其他质谱技术简单；既可用于元素分析，还可进行同位素组成的快速测定；测定精密度(RSD)可到0.1%。