超净高纯试剂
用于半导体制造的高纯度化学品
超净高纯试剂又称湿电子化学品,是主体成分纯度大于99.99%、杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂。作为半导体制造中的关键材料,其纯度和洁净度直接影响电子元器件的成品率、电性能及可靠性,在芯片清洗、刻蚀光刻等工艺环节中发挥核心作用。该产品按配方可分为通用化学品(超净高纯试剂)和功能性化学品(混配试剂),下游主要应用于集成电路、显示面板、光伏电池三大领域。
定义与特性
生产工艺
生产流程以硫酸、盐酸等基础化工品为原料,经过预处理、过滤、深度提纯等工序制成。核心技术包括:
应用领域
国内发展现状
截至2020年,我国超净高纯试剂市场主要被欧美日企业垄断;国内企业如多氟多已突破关键技术,其电子级氢氟酸产品达到SEMI-C12标准,可满足12英寸芯片生产需求并实现出口。江化微通过镇江基地的3.7万吨级项目布局。北京兴青红等企业建设有年产2万吨级生产基地,采用三级水吸收处理工艺降低环境影响。
环境影响与措施
典型生产项目可能产生酸性废气、含氟废水等污染物,企业通过以下措施防控:
最新修订时间:2025-11-25 07:02
目录
概述
定义与特性
生产工艺
应用领域
参考资料