超净高纯试剂又称湿电子化学品,是主体成分纯度大于99.99%、杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂。作为半导体制造中的关键材料,其纯度和洁净度直接影响电子元器件的成品率、电性能及可靠性,在芯片清洗、
刻蚀、
光刻等工艺环节中发挥核心作用。该产品按配方可分为通用化学品(超净高纯试剂)和功能性化学品(混配试剂),下游主要应用于
集成电路、显示面板、
光伏电池三大领域。
截至2020年,我国超净高纯试剂市场主要被欧美日企业垄断;国内企业如
多氟多已突破关键技术,其
电子级氢氟酸产品达到SEMI-C12标准,可满足12英寸芯片生产需求并实现出口。江化微通过镇江基地的3.7万吨级项目布局。北京兴青红等企业建设有年产2万吨级生产基地,采用三级水吸收处理工艺降低环境影响。