殿中侍御史始设于三国魏明帝时期（227-239年），隶属御史台体系，专职监察殿内非法行为。初置2人驻殿中，朝会时执笔端坐宫廷侧阶，头插白笔以震慑不法，该制度设计强化了皇权威仪。西晋时增至4人，职能扩展至朝会礼仪监察及京城治安巡查。隋代改称殿内侍御史，北宋复原名，明代废止。该官职在三国时期属七品，其创立标志着御史台脱离少府成为独立监察机构的重要变革。

曹魏政权为强化中央集权，将御史台从少府独立为直属皇帝的监察机构。魏明帝时期正式创设殿中侍御史，置2人驻守皇宫大殿，开创了专职殿内监察的制度化先例。该官职与治书侍御史（掌法律）、侍御史（派驻监察）共同构成曹魏监察体系的三支柱。

三国时期：专职监察朝会礼仪与殿内官员行为，朝会时需佩戴象征执法权的白笔。西晋增至4人编制，东晋扩至6人。至唐代形成四大核心职能：

作为首个专职殿内监察的官职，其制度设计影响了后世监察体系：

《三国志》裴松之注引《魏略》记载，魏明帝曾因未识殿中侍御史而引发礼仪事件。北齐《齐故许君墓铭》实物佐证了该官职在北朝的制度延续，墓主许孝仰的仕途包含“殿内侍御史”任职经历。根据注释⑨考证，“殿内侍御史即殿中侍御史，三国时魏派御史二人在朝堂大殿中纠察非法言行，后为官名，称殿中侍御史，隋初改称殿内侍御史”。北宋赵抃任职案例显示，殿中侍御史在宋代仍属御史台三院体系。