束源是通过物理或化学方法产生定向分子束的核心装置，主要分为隙流束源和超声分子束源两种类型。隙流束源通过加热物质使其蒸气化后从小孔溢流形成分子束，适用于广泛材料但束流强度较低；超声分子束源利用高压气体绝热膨胀产生平动能高、速度分布窄的分子束，常用于精密实验研究。缓冲气体冷却技术作为新型束源方案，可将分子束冷却至数K量级。现代束源装置已应用于分子束外延、超原子筛选及表面反应研究等领域。

束源按照工作原理可分为两类：

缓冲气体冷却装置通过以下流程实现分子预冷：

在分子束外延（MBE）技术中，束源承担核心功能：