微区分析是基于
电子探针、激光剥蚀等微束技术，在微米级空间分辨率下实现样品化学成分原位检测的岩矿分析技术体系。其工作模式涵盖定点分析与扫描分析两类，检测下限为1～500微克/克。该技术通过二次离子探针质谱仪等设备，可同步获取矿物微区元素分布、同位素组成及晶体结构信息，支撑了锆石定年、矿物类质同象鉴定等核心研究方向。在地学领域，微区分析已成为研究陆壳演化、矿床成因的关键手段，并在环境科学中拓展至树木年轮等载体分析。随着激光烧蚀等离子质谱等新兴技术发展，其空间分辨率提升至亚纳米尺度。
微区分析依托电子探针、激光剥蚀等微束技术，通过聚焦电子束或激光束与样品作用产生的特征信号（X射线、二次离子等）进行元素测定，同时结合光学显微系统实现分析区域可视化。早期技术以激光光谱、电子探针为主体，而激光烧蚀-电感耦合等离子体质谱（LA-ICP-MS）等新兴技术实现了更低检出限（10^-9级别）和更高空间分辨率（亚微米级）。同步辐射X射线探针技术可进行三维元素分布成像，突破传统二维分析局限。