副词“何等”的形成经历了由词组到代词再到副词的演变过程。由词组发展为代词成于汉代，深受汉译佛经的影响。由代词发展为副词成于元末明初，与所在句语气功能的转化以及所饰成分的述谓性变化有关。功能扩展表现为信息结构由背景转向前景，语义色彩由消极否定转向程度强调。“何等”由主观评注到兼表描述，由评注谓语到修饰定语。大约从东汉至南朝宋衍生出反问用法，至元代演化出感叹功能。元末至明代是副词化的关键时期，现代汉语中“何等”的主观性呈现弱化趋势。在东汉佛经中，“何等”与“何”是使用最为广泛的两个疑问代词。
瞿秋白《饿乡纪程》十一：“陈领事去莫 ，将行使何种职务，负何等外交上的责任？”
《太平广记》卷一一八引南朝宋
刘义庆 《幽明录·东方朔》：“帝骇愕，不知何等，乃曰：‘ 东方朔必识之。’”
宋·
何薳《春渚纪闻·金龙砚》：“细视之，则石面脉理深青色，盘络如柏枝状，漫不晓其为何等物也。”
《三国志·魏志·吕布传》：“布欲降。”裴松之注引三国吴袁晔 《献帝春秋》：“﹝ 布 ﹞曰：‘卿曹无相困，我当自首明公。’ 陈宫曰：‘逆贼曹操 ，何等明公！今日降之，
若卵投石，岂可得全也！’”
《资治通鉴·后唐庄宗同光元年》：“程骂曰：‘公何等
虫豸，欲倚妇力邪！’”
明·
冯梦龙《
东周列国志》第二回：“那太子
仇人相见，分外眼红，赶上一步，揪住乌云宝髻，大骂：‘贱婢！你是何等之人’？”
清·曹雪芹《红楼梦》第三回：“好生奇怪，倒像在那里见过一般，何等
眼熟到如此。”